와이어 - 방전 가공(WEDM)
원리: 와이어 - 방전 가공(WEDM)은 절단 및 성형을 위한 펄스 스파크 방전을 통해 공작물에서 금속을 침식하기 위해 연속적으로 움직이는 미세한 금속 와이어(전극선)를 공구 전극으로 활용합니다. EBSD 시료를 절단할 때 전극선과 시료 사이에 고주파 펄스 전압이 인가됩니다. 전극선과 시료 사이의 거리가 충분히 가까워지면 작동 유체가 분해되어 방전 채널이 형성되고 순간적인 고온(10{4}}도 이상에 도달할 수 있음)이 발생하여 샘플 재료가 국부적으로 녹고 기화하여 절단을 달성합니다.
장점: 복잡한 형상의 샘플을 절단할 수 있으며, 초경합금, 담금질강 등 경도가 높은 재료의 절단에도 효과적입니다. 상대적으로 높은 절단 정밀도를 가지며 작은 절단 간격(일반적으로 약 0.1 - 0.3 mm)을 얻을 수 있어 샘플 크기를 제어하는 ​​데 유리합니다.
단점: 절단 속도가 상대적으로 느리고, 절단 매개변수가 제대로 설정되지 않으면 시료 표면에 재주조 층이 형성될 수 있습니다. 재주조층은 방전가공 과정에서 시료 표면의 금속이 재용해되어 응고되어 형성된 조직층으로, 그 존재는 EBSD 분석의 정확도에 영향을 미칠 수 있다.

집중 - 이온 - 빔(FIB) 절단
원리: Focused - Ion - Beam 기술은 전기장을 사용하여 이온 소스에서 생성된 이온빔을 시료 표면에 집중시키고 이온빔과 시료 원자 사이의 상호 작용을 통해 물질의 제거 또는 증착을 실현합니다. EBSD 시료를 절단할 때는 일반적으로 갈륨(Ga) 이온빔을 사용합니다. 이온빔은 시료 표면을 스캔하고 스퍼터링을 통해 시료 재료 원자를 하나씩 벗겨내어 절단을 수행합니다.
 

 

 

 

레이저 절단
원리: 레이저 절단은 고에너지 밀도 레이저 빔을 활용하여 시료 표면을 조사하여 시료 재료를 빠르게 녹이거나 기화하거나 연소시킵니다. 동시에 보조 가스(예: 산소, 질소 등)를 사용하여 절단 영역에서 녹고 기화된 재료를 날려 절단을 수행합니다. EBSD 시료를 절단할 때 시료 물질의 특성(흡수성, 녹는점 등)에 따라 적절한 파장과 출력을 가진 레이저가 선택됩니다.
장점: 절단 속도가 빠르고 일부 규칙적인 모양의 샘플에 대해 효율적인 절단이 가능합니다. 금속, 세라믹, 복합재료 등 다양한 재료를 절단할 수 있습니다. 또한, 레이저 절단은 비접촉식 절단으로 시료에 대한 기계적 손상이 적습니다.
단점: 열 영향을 받는 부분이 절삭날에 나타날 수 있으며 이로 인해 재료의 미세 구조가 변경될 수 있습니다. 고정밀 EBSD 샘플 절단을 위해서는 레이저 매개변수를 정밀하게 제어해야 합니다. 그렇지 않으면 절단 표면이 고르지 않을 수 있습니다. 동시에, 반사율이 높은 일부 재료는 레이저를 반사하여 절단 효율을 감소시키고 레이저 장비를 잠재적으로 손상시킬 수도 있습니다.

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